1.從工作原理上看光刻機和蝕刻機。如果把制造芯片比喻成蓋房子,那么光刻機的作用就是把房子的結構標注在地上。刻蝕機就是在光刻完成以后才登場的設備,也是光刻完成以后為重要的設備之一。刻蝕機主要的作用就是按照光刻機已經標注好的線去做基礎建設,把不需要的地方給清除掉,只留下光刻過程中標注好的線路。
2.結構對比從結構上來看光刻機和蝕刻機。光刻機的主要的核心技術就是光源和光路,其光源和光路的主要組成部分有四個,光源、曝光、檢測、和其他高精密機械組成。對比之下,蝕刻機的結構組成就要簡單很多,主要是等離子體射頻源、反應腔室和真空氣路等組成。
蝕刻機的工作內容
蝕刻機主要由等離子體射頻源、反應腔室和真空氣路等組成,主要的作用:光刻機把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上后,利用蝕刻機把不需要的地方給清除掉,只留下光刻過程中標注好的線路、圖形等。
因此,在芯片制造環節中,光刻機完成了本身工作,就需要由蝕刻機來二次加工,形成一個完成的芯片制造工藝鏈。可以說,蝕刻機是光刻之后必不可少的設備,也是輔助光刻機工作的重要環節。